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走査プラズマ法を用いた高分子フィルム上へのZnO薄膜の低温形成


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タイトル: 走査プラズマ法を用いた高分子フィルム上へのZnO薄膜の低温形成
その他のタイトル: Low Temperature Sputter-Deposition of ZnO on Polymers by the Scanning Plasma Method
著者: 馬場, 健次 / 篠原, 正典 / 藤山, 寛 / 山本, 恭一 / 宇山, 春夫
著者(別表記) : Baba, Kenji / Shinohara, Masanori / Fujiyama, Hiroshi / Yamamoto, Kyoichi / Uyama, Haruo
発行日: 2003年 7月
引用: 長崎大学工学部研究報告 Vol.33(61) p. 53-56, 2003
抄録: ZnO thin films were prepared on polyethylene terephthalate (PET) substrates using the scanning plasma method. We investigate the dependence of the scanning frequency and magnetic flux density on the substrate temperatures. We found the substrate was kept at low temperatures by modulating magnetic field and magnetic field frequency.
URI: http://hdl.handle.net/10069/15048
ISSN: 02860902
資料タイプ: Departmental Bulletin Paper
出現コレクション:第33巻 第61号

引用URI : http://hdl.handle.net/10069/15048

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