DSpace university logo mark
詳細検索
Japanese | English 

NAOSITE : Nagasaki University's Academic Output SITE > 060 工学部・工学研究科 > 060 紀要 > 長崎大学工学部研究報告 > 第35巻 第64号 >

マイクロホローカソード光源を用いた真空紫外吸収分光法の開発


ファイル 記述 サイズフォーマット
KJ00004724051.pdf409.97 kBAdobe PDF本文ファイル

タイトル: マイクロホローカソード光源を用いた真空紫外吸収分光法の開発
その他のタイトル: Development of Vacuum Ultraviolet Absorption Spectroscopy Using a Micro Hollow Cathode Light Source
著者: 井手, 義行 / 篠原, 正典 / 松田, 良信 / 藤山, 寛
著者(別表記) : Ide, Yoshiyuki / Shinohara, Masanori / Matsuda, Yoshinobu / Fujiyama, Hiroshi
発行日: 2005年 3月
引用: 長崎大学工学部研究報告 Vol.35(64) p. 35-39, 2005
抄録: Vacuum ultraviolet absorption spectroscopy system using a micro hollow cathode lamp has been built for the measurement of number densities of light element atoms such as atomic hydrogen, carbon, nitrogen and oxygen. Preliminary absorption measurement has been done in oxygen/argon inductively coupled plasma. A rough estimation showed the oxygen number densities of 10^<12>~10^<13>cm^<-3> for the ICP plasma produced at the following condition : RF power of 200W, total gas pressure of 50mTorr, , and O_2 partial pressure of 1.25mTorr.
URI: http://hdl.handle.net/10069/15094
ISSN: 02860902
資料タイプ: Departmental Bulletin Paper
出現コレクション:第35巻 第64号

引用URI : http://hdl.handle.net/10069/15094

このリポジトリに保管されている文献はすべて著作権により保護されています。
印刷やダウンロード等データの複製は、調査研究・教育または学習を目的とする場合に限定されます。

 

Valid XHTML 1.0! Copyright © 2006-2015 長崎大学附属図書館 - お問い合わせ Powerd by DSpace