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反応性プラズマとイオンビームによる窒化炭素薄膜作製に関する研究


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タイトル: 反応性プラズマとイオンビームによる窒化炭素薄膜作製に関する研究
その他のタイトル: Studies on the formation of carbon nitride thin films using reactive plasma and ion beam
著者: 陳, 潤植
著者(別表記) : Jin, Yunsik
発行日: 1999年 3月31日
引用: (1999-03-31)
記述: 長崎大学学位論文 学位記番号:博(海)甲第164号 学位授与年月日:平成11年3月31日
URI: http://hdl.handle.net/10069/18694
資料タイプ: Thesis or Dissertation
出現コレクション:090 学位論文

引用URI : http://hdl.handle.net/10069/18694

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