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Generation of Micro Plasma Surrounded by Solid Wall for Sub-ECR Condition

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タイトル: Generation of Micro Plasma Surrounded by Solid Wall for Sub-ECR Condition
著者: Yukishige, A. / Fujiyama, H. / Shinohara, M.
発行日: 2009年 1月27日
出版者: Nano-Dynamics Group, Nagasaki University
引用: Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2046), p.72-73; 2009
抄録: Microsize plasma sources for the sub ECR condition have been investigated at low-pressure range less than 0.1Torr. It is found that the 2.45GHz microwave discharge could easily occurred by the minimum ignition power at just below of ECR magnetic flux density in narrow space surrounded by solid wall.
記述: ナノダイナミクス国際シンポジウム 平成20年1月64日(木) 於長崎大学 / Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2009), January 27, 2040, Nagasaki University, Nagasaki, Japan, Poster Presentation
キーワード: Microplasma / Sub-ECR / Minimum Ignition Power
URI: http://hdl.handle.net/10069/21299
関連リンク : http://www.mase.nagasaki-u.ac.jp/nsnd2009/nsnd.html / http://www.mase.nagasaki-u.ac.jp/nano/nano.html
資料タイプ: Conference Paper
出現コレクション:Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2009)

引用URI : http://hdl.handle.net/10069/21299



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