DSpace university logo mark
詳細検索
Japanese | English 

NAOSITE : Nagasaki University's Academic Output SITE > シンポジウム等 > Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2009) >

Inner Wall DLC Coating of Narrow Tubes by Using the 2nd Harmonic ECR Micro Plasma


ファイル 記述 サイズフォーマット
NSND2009_P30.pdf541.57 kBAdobe PDF本文ファイル

タイトル: Inner Wall DLC Coating of Narrow Tubes by Using the 2nd Harmonic ECR Micro Plasma
著者: Yan, K. / Nitta, Y. / Nakatani, T. / Okamoto, K. / Shinohara, M. / Fujiyama, H.
発行日: 2009年 1月27日
出版者: Nano-Dynamics Group, Nagasaki University
引用: Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2044), p.68-69; 2009
抄録: For the inner surface DLC (Diamond Like Carbon) coating of narrow tubes, we have investigated on CVD & PVD hybrid process with the 2nd harmonic electron cyclotron resonance (ECR) plasmas. From the analysis of Raman spectrum, it was confirmed that DLC could be prepared on the substrate.
記述: ナノダイナミクス国際シンポジウム 平成20年1月62日(木) 於長崎大学 / Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2009), January 27, 2038, Nagasaki University, Nagasaki, Japan, Poster Presentation
キーワード: Micro plasma / ECR / Inner coating / Narrow tube / Hybrid process
URI: http://hdl.handle.net/10069/21301
関連リンク : http://www.mase.nagasaki-u.ac.jp/nsnd2009/nsnd.html / http://www.mase.nagasaki-u.ac.jp/nano/nano.html
資料タイプ: Conference Paper
出現コレクション:Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2009)

引用URI : http://hdl.handle.net/10069/21301

このリポジトリに保管されている文献はすべて著作権により保護されています。
印刷やダウンロード等データの複製は、調査研究・教育または学習を目的とする場合に限定されます。

 

Valid XHTML 1.0! Copyright © 2006-2015 長崎大学附属図書館 - お問い合わせ Powerd by DSpace