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NAOSITE : Nagasaki University's Academic Output SITE > シンポジウム等 > Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2009) >

Observation of Arcing in DC Magnetron Sputtering of AZO Target


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タイトル: Observation of Arcing in DC Magnetron Sputtering of AZO Target
著者: Komine, Kazuki / Shinohara, Masanori / Matsuda, Yoshinobu
発行日: 2009年 1月27日
出版者: Nano-Dynamics Group, Nagasaki University
引用: Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2043), p.66-67; 2009
抄録: Arcing phenomena was investigated in DC magnetron sputtering of AZO target. Arc count was found to depend on discharge power and working pressure. The arc most frequently occurred at 5mTorr. Velocity of cathode spot was larger for higher pressure.
記述: ナノダイナミクス国際シンポジウム 平成20年1月61日(木) 於長崎大学 / Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2009), January 27, 2037, Nagasaki University, Nagasaki, Japan, Poster Presentation
URI: http://hdl.handle.net/10069/21302
関連リンク : http://www.mase.nagasaki-u.ac.jp/nsnd2009/nsnd.html / http://www.mase.nagasaki-u.ac.jp/nano/nano.html
資料タイプ: Conference Paper
出現コレクション:Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2009)

引用URI : http://hdl.handle.net/10069/21302

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