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NAOSITE : Nagasaki University's Academic Output SITE > シンポジウム等 > Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2009) >

Absorption Measurement of Zn Atom Density during ICP-assisted Magnetron Sputter-deposition of Al-doped ZnO Thin Films


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タイトル: Absorption Measurement of Zn Atom Density during ICP-assisted Magnetron Sputter-deposition of Al-doped ZnO Thin Films
著者: Iwata, Tadashi / Kan, Ryouji / Shibasaki, Takashi / Shinohara, Masanori / Matsuda, Yoshinobu
発行日: 2009年 1月27日
出版者: Nano-Dynamics Group, Nagasaki University
引用: Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2042), p.64-65; 2009
抄録: This paper reports the outlines of hollow cathode (HCD) lamp absorption system for the density measurement of sputtered metal atoms in the inductively coupled plasma (ICP) assisted sputter-deposition process of Al doped ZnO thin films. As a result, absorbance of about 6.5% was obtained, which corresponds to the Zn atom density of 1.5×1012 cm-3.
記述: ナノダイナミクス国際シンポジウム 平成20年1月60日(木) 於長崎大学 / Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2009), January 27, 2036, Nagasaki University, Nagasaki, Japan, Poster Presentation
URI: http://hdl.handle.net/10069/21303
関連リンク : http://www.mase.nagasaki-u.ac.jp/nsnd2009/nsnd.html / http://www.mase.nagasaki-u.ac.jp/nano/nano.html
資料タイプ: Conference Paper
出現コレクション:Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2009)

引用URI : http://hdl.handle.net/10069/21303

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