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NAOSITE : Nagasaki University's Academic Output SITE > シンポジウム等 > Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2009) >

Monitoring of Chemical Vapor Deposition Process of Hydrocarbon Thin Films by Optical Reflectance Interferometry


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タイトル: Monitoring of Chemical Vapor Deposition Process of Hydrocarbon Thin Films by Optical Reflectance Interferometry
著者: Uehara, Kazuishi / Shinohara, Masanori / Matsuda, Yoshinobu
発行日: 2009年 1月27日
出版者: Nano-Dynamics Group, Nagasaki University
引用: Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2030), p.42-43; 2009
抄録: Optical reflectance interference has been investigated during the deposition processes of hydrocarbon thin films. A clear oscillation in the laser power reflected from the substrate has been observed during the deposition. From the instantaneous oscillation amplitude, temporal change in the refractive index was evaluated.
記述: ナノダイナミクス国際シンポジウム 平成20年1月48日(木) 於長崎大学 / Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2009), January 27, 2024, Nagasaki University, Nagasaki, Japan, Poster Presentation
URI: http://hdl.handle.net/10069/21315
関連リンク : http://www.mase.nagasaki-u.ac.jp/nsnd2009/nsnd.html / http://www.mase.nagasaki-u.ac.jp/nano/nano.html
資料タイプ: Conference Paper
出現コレクション:Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2009)

引用URI : http://hdl.handle.net/10069/21315

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