DSpace university logo mark
詳細検索
Japanese | English 

NAOSITE : Nagasaki University's Academic Output SITE > シンポジウム等 > Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2009) >

Surface Modification due to Solution Plasma


ファイル 記述 サイズフォーマット
NSND2009_P15.pdf374.07 kBAdobe PDF本文ファイル

タイトル: Surface Modification due to Solution Plasma
著者: Shuai, Z. / Akaki, K. / Shimizu, K. / Kotani, K. / Shinohara, M. / Matsuda, Y. / Fujiyama, H.
発行日: 2009年 1月27日
出版者: Nano-Dynamics Group, Nagasaki University
引用: Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2029), p.40-41; 2009
抄録: We succeeded in the generation of two types of solution plasmas: one was generated in the ultrasonic bubbles by feeding DC power or commercial AC 60Hz power for the etching of silicon substrate. The other plasma was generated by low frequency power for the film deposition inside tubes. Now we are optimizing the plasma generation condition for each application.
記述: ナノダイナミクス国際シンポジウム 平成20年1月47日(木) 於長崎大学 / Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2009), January 27, 2023, Nagasaki University, Nagasaki, Japan, Poster Presentation
キーワード: solution plasma / etching / deposition / amorphous carbon film
URI: http://hdl.handle.net/10069/21316
関連リンク : http://www.mase.nagasaki-u.ac.jp/nsnd2009/nsnd.html / http://www.mase.nagasaki-u.ac.jp/nano/nano.html
資料タイプ: Conference Paper
出現コレクション:Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2009)

引用URI : http://hdl.handle.net/10069/21316

このリポジトリに保管されている文献はすべて著作権により保護されています。
印刷やダウンロード等データの複製は、調査研究・教育または学習を目的とする場合に限定されます。

 

Valid XHTML 1.0! Copyright © 2006-2015 長崎大学附属図書館 - お問い合わせ Powerd by DSpace