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NAOSITE : Nagasaki University's Academic Output SITE > シンポジウム等 > Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2009) >

Source Molecular Effect on Amorphous Carbon Film Deposition


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タイトル: Source Molecular Effect on Amorphous Carbon Film Deposition
著者: Kawazoe, Hiroki / Inayoshi, Takanori / Shinohara, Masanori / Matsuda, Yoshinobu / Fujiyama, Hiroshi / Nitta, Yuki / Nakatani, Tatsuyuki
発行日: 2009年 1月27日
出版者: Nano-Dynamics Group, Nagasaki University
引用: Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2028), p.38-39; 2009
抄録: We investigated deposition process of amorphous carbon films using acetylene and methane as a source molecule, by using infrared spectroscopy in multiple internal reflection geometry (MIR-IRAS). We found that deposited film structures were different due to source molecules.
記述: ナノダイナミクス国際シンポジウム 平成20年1月46日(木) 於長崎大学 / Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2009), January 27, 2022, Nagasaki University, Nagasaki, Japan, Poster Presentation
キーワード: Acetylene / Methane / Plasma / Amorphous carbon film / Deposition process / Infrared
URI: http://hdl.handle.net/10069/21317
関連リンク : http://www.mase.nagasaki-u.ac.jp/nsnd2009/nsnd.html / http://www.mase.nagasaki-u.ac.jp/nano/nano.html
資料タイプ: Conference Paper
出現コレクション:Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2009 (NSND2009)

引用URI : http://hdl.handle.net/10069/21317

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