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レーザー誘起蛍光法による反応性スパッタリング中の中性インジウム原子密度計測


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タイトル: レーザー誘起蛍光法による反応性スパッタリング中の中性インジウム原子密度計測
その他のタイトル: Measurement of Indium Density in the Reactive Sputtering Using the Laser Induced Fluorescence
著者: 城戸, 拓也 / 阿野, 一巳 / 白方, 一浩 / 松田, 良信
著者(別表記) : Kido, Takuya / Ano, Kazumi / Shirakata, Kazuhiro / Matsuda, Yoshinobu
発行日: 1994年 1月
出版者: 長崎大学工学部 / Faculty of Engineering, Nagasaki University
引用: 長崎大学工学部研究報告, 24(42), pp.51-58; 1994
抄録: We have investigated the reactive sputtering of Indium-Tin-Oxide(ITO) in a dc glow discharge. Spatial distributions of absolute density of sputtered indium atoms were measured by the laser induced fluorescence spectroscopy. The maximum value of the indium density was 1011cm-3 for the case of pure argon dc discharge at the pressure of 0.2 Torr and the discharge voltage of 800 V.
URI: http://hdl.handle.net/10069/24430
ISSN: 02860902
資料タイプ: Departmental Bulletin Paper
原稿種類: publisher
出現コレクション:第24巻 第42号

引用URI : http://hdl.handle.net/10069/24430

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