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ソフトフェライト膜作用Nd:YAGレーザーPLDシステムの開発


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タイトル: ソフトフェライト膜作用Nd:YAGレーザーPLDシステムの開発
その他のタイトル: Development of Pulse Nd:YAG Laser Deposition system for Soft-FerrieFilm
著者: 辻, 峰男 / 本城, 隆 / 泉, 勝弘
著者(別表記) : Tsuji, Mineo / Honjo, Takashi / Izumi, Katsuhiro
発行日: 2002年 7月
引用: 長崎大学工学部研究報告 Vol.32(59) p.75-78, 2002
抄録: It was reported preparation of soft-ferrite film on the room-temperature substrate by pulse laser deposition (PLD) method with excimer laser. Thereafter, soft-ferrite film preparation by PLD method is widely noticed. But excimer laser is difficult to keep maintained by small laboratory, because of the running costs of excimer laser are very expensive. On the other hand, Nd : YAG laser has advantages of low running costs, high energy-stability and so on. So, PLD system with Nd : YAG laser was developed for soft-ferrite film preparation. In this report, we introduce details of the developed pulse Nd : YAG laser deposition system.
URI: http://hdl.handle.net/10069/5213
ISSN: 02860902
資料タイプ: Departmental Bulletin Paper
出現コレクション:第32巻 第59号

引用URI : http://hdl.handle.net/10069/5213

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