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NAOSITE : Nagasaki University's Academic Output SITE > シンポジウム等 > Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2008 (NSND2008) >

LOW-PRESSURE MICRO PLASMA GENERATION USING MICROWAVE IN A MIRROR MAGNETIC FIELD


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タイトル: LOW-PRESSURE MICRO PLASMA GENERATION USING MICROWAVE IN A MIRROR MAGNETIC FIELD
著者: Yukishige, A / Nakatani, T. / Shinohara, M. / Fujiyama, H.
発行日: 2008年 1月29日
引用: Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2008 (NSND2008), pp.57-58
抄録: Microsize plasma sources have not been developed for the condition of low-pressure range less than 0.1Torr in the present technology. In this article we investigate a 2.45GHz microwave discharge operated at the ECR and the 2^<nd> harmonic ECR, by mirror magnetic field.
記述: Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2008 (NSND2008) 平成20年1月29日(火)於長崎大学 Poster Presentation
キーワード: microplasma / 2^<nd> harmonic ECR / low pressure plasma generation
URI: http://hdl.handle.net/10069/9854
資料タイプ: Conference Paper
出現コレクション:Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2008 (NSND2008)

引用URI : http://hdl.handle.net/10069/9854

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