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NAOSITE : Nagasaki University's Academic Output SITE > シンポジウム等 > Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2008 (NSND2008) >

Investigation of Deposition Process of Amorphous Carbon Film


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タイトル: Investigation of Deposition Process of Amorphous Carbon Film
著者: Inayioshi, Takanori / Shinohara, Masanori / Kawazoe, Taiki / Matsuda, Yoshinobu / Fujiyama, Hiroshi / Nakatani, Tatsuyuki
発行日: 2008年 1月29日
引用: Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2008 (NSND2008), pp.89-90
抄録: The dependence of the deposition process of amorphous carbon films on growth temperatures has been investigated by using infrared spectroscopy in multiple internal reflection geometry (MIR-IRAS). The CH_3 peak of amorphous carbon film was decreased as the growth temperature was increased.
記述: Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2008 (NSND2008) 平成20年1月29日(火)於長崎大学 Poster Presentation
キーワード: amorphous carbon film / deposition process / hydrogen / infrared spectroscopy
URI: http://hdl.handle.net/10069/9868
資料タイプ: Conference Paper
出現コレクション:Nagasaki Symposium on Nano-Dynamics 2008 (NSND2008)

引用URI : http://hdl.handle.net/10069/9868

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